Egwyddor weithredol peiriant cotio gwactod

Mae peiriant cotio gwactod yn ddyfais sy'n gosod ffilmiau tenau metel ar wyneb swbstrad. Rhennir ei egwyddor waith sylfaenol yn dri cham: glanhau, anweddu a dyddodiad.
1. glanhau
Cyn dyddodiad anweddol, rhaid glanhau'r siambr anweddu. Oherwydd y gall fod ocsidau, saim, llwch a sylweddau eraill ynghlwm wrth wyneb y siambr anweddu, bydd y rhain yn effeithio ar ansawdd y ffilm. Mae glanhau fel arfer yn defnyddio dulliau cemegol neu ffisegol.
2. anweddu
Mae'r deunydd a ddymunir yn cael ei gynhesu uwchben ei bwynt toddi fel ei fod yn ffurfio moleciwlau nwyol. Yna mae'r moleciwlau nwyol yn cael eu dianc yn y siambr wactod i'r siambr anweddu. Gelwir y broses hon yn anweddiad. Mae tymheredd, pwysedd a chyfradd anweddu yn effeithio ar gyfansoddiad, strwythur a phriodweddau'r ffilm.
3. Dyddodiad
Mae moleciwlau nwyol y deunydd yn y siambr anweddu yn mynd i mewn i'r siambr adwaith trwy'r bibell gwactod, yn adweithio â'r deunydd gweithredol, ac yna'n adneuo'r cynnyrch ar wyneb y swbstrad. Gelwir y broses hon yn waddodiad. Mae tymheredd, pwysedd a chyfradd y dyddodiad hefyd yn effeithio ar ansawdd a pherfformiad y ffilm.
2. Cais
Defnyddir peiriannau cotio gwactod yn eang mewn gwyddoniaeth deunyddiau, opteg, electroneg a meysydd eraill.
1. Gwyddor Deunyddiau
Gall peiriannau cotio gwactod baratoi ffilmiau tenau o wahanol fetelau, aloion, ocsidau, silicadau a deunyddiau eraill, ac fe'u defnyddir yn eang mewn haenau, ffilmiau optegol, storio optegol, arddangosfeydd, transistorau a meysydd eraill.
2. Opteg
Gall y peiriant cotio gwactod baratoi ffilmiau metel ac aloi gydag adlewyrchedd uchel a ffilmiau optegol gyda swyddogaethau arbennig. Gellir defnyddio'r ffilmiau hyn mewn paneli solar, microsgopau electron perfformiad uchel, aerogels, synwyryddion UV / IR, hidlwyr optegol a meysydd eraill.
3. Electroneg
Gall peiriannau cotio gwactod baratoi deunyddiau electronig nanoscale a dyfeisiau microelectroneg. Gellir defnyddio'r ffilmiau hyn mewn nanotransistors, atgofion magnetig, synwyryddion a meysydd eraill.
Yn fyr, gall y peiriant cotio gwactod nid yn unig baratoi deunyddiau ffilm tenau amrywiol, ond hefyd yn paratoi ffilmiau tenau gyda swyddogaethau arbennig yn ôl yr angen. Yn y dyfodol, bydd technoleg cotio gwactod yn cael ei ddefnyddio a'i hyrwyddo'n ehangach.